En utilisant une fenêtre de sortie de 0,1 µm de Si3N4, on parvient à un diamètre de faisceau d'environ 10 µm en plaçant l'objet à 3 mm de la fenêtre sous une atmosphère d'hélium. Une telle taille de faisceau rend désormais possible l'analyse de petits détails tels que des inclusions dans les gemmes ou des enluminures.